微細構造ナノドットアレイ

イントロダクション

独自技術によりサイズ数百nm～数umの表面微細構造を作製できます。光学分野、分析化学分野、生命科学・医療分野など、多様なアプリケーションを開発しております。微細構造はガラス、シリコン、樹脂などの様々な対象に加工可能です。微細構造に関するサンプル提供や試作についてのお問い合わせは、フォームにてお願いいたします。

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多様な微細構造

微細構造のカスタマイズ承ります。

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応用例1　鏡面反射防止構造（平滑面の反射防止と透過率向上）

蛾の目の表面構造（上図：ナノサイズのドット型微細構造）をもつフィルムは、光の反射率を低下（透過率を向上）させる特徴があります。同様の反射防止構造をプラスチック表面に作製したフィルムや成形体をご提供いたします（下図）。

【用途】低反射率、高透過率が求められる鏡面光学材料
【基材】（直接加工）シリコン、石英ガラス、等
　　　　（樹脂成形）アクリル、ポリスチレン、ポリカーボネート、シクロオレフィン樹脂、等

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応用例2　拡散反射防止構造（非平滑面の反射防止）

光を散らして映り込みを防止する防眩構造の性能を飛躍的に向上する技術を開発しました。この構造によって、どこから光が当たっても、どこから見ても黒いフィルム（積分反射率0.5%程度）を作製することができます。

拡散反射防止構造の見かけはマット調の漆黒フィルム

【用途】　低反射率が求められる表面、光学筐体内部の迷光防止など
【基材】　（樹脂成形）　アクリル、ポリスチレン、ポリカーボネート、シクロオレフィン樹脂、等

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応用例3　LED用微細構造付きサファイア基板

LEDの光を効率よく取り出すことのできる、ミクロン～ナノサイズのドット型微細構造付きサファイア基板(PSS) を提供します。微細加工は、半導体結晶成膜面、および成膜側と反対面（フリップチップタイプの光取り出し面）に形成可能で、波長、デバイスに最適な形状をご提供いたします。

LEDに使用可能な各種微細構造例

【複合構造体】　数百ナノメートルピッチの微細構造と、数マイクロメートルピッチの微細構造を組み合わせた「複合構造体」をご提供できます。複合構造体を用いたLED素子の出力は、正面輝度2. 4 倍、全光束1. 8 倍に向上します（当社データ：波長385nm、対平坦基板）。一般的なPSS製品と比較しても、20％程度正面輝度が向上します。

【用途】　LEDなど光学素子の結晶成長調整、アウトカップリング効果による輝度向上など
【基材】（直接加工）　サファイア、シリコンカーバイド、シリコン、石英ガラス、窒化ガリウム等

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